技术指标：

1、多镀层，1-6层；

2、高测试精度；低可达0.001um，精度误差第一层在±３%

3、元素分析范围从铝（Al）到铀（U）；

4、测量时间：1-30秒；

5、SDD探测器，能量分辨率为125电子伏特；

6、微焦X射线管；电压及电流为50KV/1mA；

7、焦斑尺寸15um；

8、7个准直器及6个滤光片自动切换；

9、XYZ三维移动平台，极限荷载为5KG；

10、高清CCD摄像头，准确监控位置；

11、多变量非线性去卷积曲线拟合；

12、高性能FP/MLSQ分析；

13、平台尺寸：700×580×25mm；

14、仪器尺寸：475×787×375mm；

15、加入安全防射线光闸，样品室门开闭传感器；

16、可提供对样品的自动和编程控制，多点自动测量。