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SURAGUS EddyCus® TF膜厚面阻测试仪

tel: 400-6699-117 1000

Suragus在线测厚仪, 产品简介 EddyCus® TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的面阻及膜厚实时测量仪器。其应用领......

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…………



详询:北京燕京电子有限公司


技术指标 EddyCus® TF lab-1 EddyCus® TF lab-2
传感器之间距离 10mm up to 60 mm possible
 
厚度测量 范围
高导电率材料 (大于 10 MS/m)  
5 nm – 50 µm
 
5 nm – 100 µm
低导电率材料 (小于 10 MS/m)  
10 nm – 1 mm
 
10 nm – 250 µm
面阻测量范围 0,01 – 1000 Ω/sq
导电率范围 1– 67 MS/m
 
 
薄膜厚度测量精度
± 10% from<20 nm
± 5% from 20-200 nm
± 2,5% from 200nm– 1 µm
± 1% from > 1 µm
 
 
面电阻测量精度 (e.g. TCO)
± 2,5% from 0,01 – 20 Ω/sq
± 5% from 20 – 100 Ω/sq
± 10% from 100 – 1000 Ω/sq
传感器  
可根据不同应用要求配置zei佳的传感器



厂家资料

地址:SURAGUS GmbH Maria-Reiche-Str. 1 01109 Dresden Germany

电话:400-6699-117 转 1000

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