NPC-3500 (A) 全自动等离子清洗机去胶机

NPC-3500（A）全自动等离子清洗/去胶机产品特点

• 紧凑型立式系统

• 自动上下载片

• 带Load Lock

• 不锈钢、铝制腔体或钟罩式耐热玻璃腔

• 兼容100级超净间使用

• 淋浴头、ICP或微波等离子源

• 旋转样品台

• RF偏压可PID控制加热到300 °C或冷却的样品台

• 全自动或手动RF调谐

• zei多可支持5个MFC带电抛光的气体管路

• PC计算机控制的气动阀

• 带密码保护的多级访问控制

• 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

• 机械泵的压力可达到10mTorr

• 250 l/s的涡轮分子泵

• 极限真空为5x10-7Torr

• 完整的安全联锁