分辨率：

• 3.5nm (30kV, SE image)

• 4.0nm (30kV, BSE image) 可选

放大倍数：30x~300,000x(WD=5mm)

加速电压：0.5kV~30kV

电子枪：三级自给偏压，预对中发叉式钨丝阴极，自动/手动电磁对中

透镜系统：三级电磁透镜

物镜光阑：4 孔可变光阑，摇摆对中合轴

图像电位移和电旋转：±20 ? (WD: 5 ㎜); 0-360°无限

样品室：内径φ210mm ，可扩展接配EDS,BSE 等探测器

样品台及行程：

• 标配五轴手动机械对中样品台

• X: 60 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~50 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°

• 可选X、Y 2 轴马达驱动

zei大样品尺寸：直径φ160mm ，zei大样品高度50mm

操作系统：PCI、USB 接口的PC 机控制, 奔腾4 兼容机，Windows XP, 19 英寸彩色显示器，图形用户界面(GUI)，鼠标键盘操作

自动功能：自动电磁对中，自动聚焦，自动亮度对比度，自动消象散

扫描模式：

• 屏幕选区模式: 320 x 240 像素

• 全屏慢扫描模式: 640 x 480 像素 (3 档速度)

• 全屏照相获取模式 1: 1280 x 960 像素

• 全屏照相获取模式 2: 2560 x 1920 像素

• 示波器观察模式，图像冻结

图像格式：JPG, TIFF, BMP

语言：英语

真空系统：全自动涡轮分子泵真空系统，样品室处真空度优于1x10-5 Torr ，涡轮分子泵210L/sec + 旋片式机械泵100L/min

外形尺寸和重量：

• 主机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 310 ㎏

• 操作台: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏

安装要求：

• 电源 AC 220V, 60Hz, 2kVA

• 地线 独立地线1 条，小于等于100Ω

• 温度 15℃~30℃

• 湿度 小于等于70 %

• 交流磁场 小于等于0.3 uT

• 地面振动 5 um/sec Max.

• 门宽 900mm 或更宽