1. 分辨率 : 3.0nm @30KV ,10nm@3KV (二次电子像)

2. 放大倍数 : x10 ~ x300,000

3. 探测器: E-T型二次电子探测器

4. 加速电压 :0.5KV~30KV (3KV以内，100V/步，3KV以上 1KV/步)

5. 电子枪 : W (钨), 预对中灯丝 ,zei大发射电流 ~150?

6. 磁透镜系统 : 三级电磁透镜

7. 物镜光阑 : 4位可移动，摇摆对中

8.图像电位移： +/-50um (WD : 10mm)

9.图像电旋转：0~360°

10.样品室: 内径210mm, 具有SE,EDS,WDS,BSE等接口

11. 样品台：五轴手动机械对中样品台

行程：X (65mm), Y (40mm), R (360°), Tilt: -20°~ 90°, Z (5 ~ 65mm)

12. 样品尺寸(zei大) : 直径160mm

13. 扫描模式

• 选区 (320 x 240 pixel)

• TV全屏扫描模式：(640 x 480pixel)

• 三档全屏慢扫描模式 (800 x 600 pixel)

• 照相模式：1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840pixel

• 示波器扫描模式

14. 图像格式 : JPG, TIFF, BMP

15. 图像显示器: 19“ LCD Monitor

16. 自动控制功能： 电子枪饱和、电子枪对中、电子枪偏压、亮度对比度、 聚焦、消象散、动态聚焦、倾斜补偿

17. 工作距离 : 5 ~70mm

18. 真空系统 : 全自动 (真空时间: 小于5分钟)

• 前级真空: 旋片式机械泵

• 高真空 : 高效油扩散泵

19. 控制系统 : USBPCI接口计算机控制，操作系统 : Windows XP

20. 图像处理分析软件 :

• 长度、角度，面积等测量功能

• 实时图像灰度直方图显示