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COXEM KIC-1A 全自动小型离子溅射仪

tel: 400-6699-117 1000

COXEM离子溅射仪, 操作设置简单,可以产生均匀颗粒尺寸和镀膜厚度。

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COXEM供应小型离子溅射镀膜机,型号KIC-1A,具有稳定的离子流和,操作设置简单,可以产生均匀颗粒尺寸和均匀的镀膜厚度。

性能指标:

快速抽真空,小于2分钟

预设的快速操作

容易的条件设置

自动真空控制

自动通气消除真空,,当镀膜程序执行完成后

样品高度调节方便,(马达驱动升降,调节工作距离)

靶的尺寸:直径50mm(Au/Pt)

电源:220V,60Hz/50Hz ,500W

离子流控制范围:1-7mA

外形尺寸:380(W) x 250(D) x 330(H) mm

样品室内径:100mm

旋片式机械真空泵:100L/min

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