| 纯水水质 | Ⅰ级水纯水器 |
| 仪器种类 | 超纯水仪 |
| 微生物 | ≤1cfu/ml | 颗粒物(>0.1μm) | <1/ml |
| 热源/内毒素 | ＜0.001EU/ml | 总有机碳(TOC) | <10ppb |
| 重金属离子 | ＜0.1ppb | 电阻率 | 18.2MΩ.cm |
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