加热元件

8 根红外灯管 (D=10 L=300 T =200, mm）（点击图片查看详情）

加热区

12“ length with 4“X12”恒温区（ +/-5oC ）

石英管和样品架

• 石英管尺寸: 4.33“ O.D x 4.05“ I.D x 15“ Length

• 3“ 的样品架固定在滑动法兰上，石英材料

•  一片3“  AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。

• AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C

真空法兰

• 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封

• 滑动法兰使装载样品很容易. 3“ 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。

水冷

如果要求通冷却水.

• 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 < 20oC; 水压 > 25 PSI

• 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统（为了节约用水）.

• 警告:  这款 RTP 炉在1000oC ~ 1100oC下保温时间不超过 600 秒，否则“ O”圈将被烧融
           

流量计

范围： 16 - 160 ml/min

真空表

• 标配：数字真空表，测量范围：10mtorr~800 torr 。注意：此表是在氮气下校准的，只有在氮气和空气下表上显示的是实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会很严重。

• 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片了解详细参数）
  

• 用机械泵真空度达 50 mtorr .

• 用分子泵真空度可达 10^-4 torr .

温度控制

PID 自动控制， 可控硅 SCR

热偶

进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下。

温控仪

• PID 自动控制，30段程序带过热和断偶保护功能

• 热偶: 进口K type

• 自整定功能

• 控温精度: +/- 1°C

• RS485 串口和温控软件（模块和数据线需要另购）  

• 温控操作视频：点击查看

zei快升温速度 

zei快降温速度 

温度

电源 

 此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发）炉（可查看下方的图片自己制备RTE）
     

尺寸 

重量 

• CE认  

• 所有电器元件（＞24V）都通过了UL/MET/CSA认证

• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

      

    zl名称：一种快速高温退火炉

    zl编号：ZL-2011-2-0077168.4

    尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

• 炉管内气压不可高于0.02MPa

• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

• 石英管的长时间使用温度＜1100℃

• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）