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小型大口径开启式管式炉

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合肥科晶马弗炉/电阻炉/实验炉, OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其zei高工作温度可以达到1000℃。炉管Φ130mm的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉zei多可对4英寸的晶片进行退火。

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  • 升温速度(达到zei高温)

    20℃/min

  • 内部尺寸

    130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL

  • 加热方式

    仪表控温

  • zei大功率

    3KW

  • 控温精度

    ±1℃

  • zei高温度

    1000℃

  • 仪器种类

    管式炉



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