带有预热系统的滑动PECVD_技术特点

技术特点

【技术特点】-- 带有预热系统的滑动PECVD

特点	与普通CVD相比较，其沉积温度大大降低，减少了高温多薄膜损坏可以通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果炉体有两个温区，可在炉体内形成温度梯度，两个温区zei大温差为400℃ 管式炉zei高工作温度为1100℃ 带有预热炉，zei高温度为1100℃，气体可通过此炉预热也可将液体蒸发气化或固体原料升华后与气体原料混合。
双温区滑轨炉 (点击图片查看详细资料）	连续工作zei高温度为1100℃ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命(点击文字查看详细资料）两个温控系统独立控制两个温区，都可设置30段升降温程序每个温区长度为200mm 总温区长度：400mm 恒温区：200mm(两个温区设置同样的温度）两个温区zei大温差为：400℃ 炉管材料：高纯石英管石英管尺寸：50mm OD x 44ID x 2200mm L 所需电源: 208 – 240V AC单相 zei大功率： 4KW
等离子射频发生器	输出功率: 5 -500W可调稳定性为：+/-1% 射频电源频率：13.56 MH, 稳定性±0.005% zei大反向功率: 200W 射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半导体, 阴极噪音:<50 dB. 冷却方式：空气冷却输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz
预热炉	一款小型单温区管式炉，加热区为200mm zei高温度: 1100oC 可设置30段升降温程序控温仪表操作视频气体通过等离子射频电源前，先通过预热炉也可将固体和液体原料放在预热炉中，气化后与气体原料相混合
防腐型数显真空计	测量范围3.8x10^-5至 1125 Torr 当气压在10mbar以上时，可独立测量各种气体，不必做校正（包括混合气体）对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性信号响应时间较短（≤30ms) 因为传感器上镀有防腐涂层，所以具有较好的抗腐蚀性
真空泵和阀	可以从本公司选购以下几种真空泵如您想获得更高的真空度(<10^-5 torr or better) 可选国产或进口高真空机组配有挡板阀、波纹管和卡箍等真空配件
电动滑轨	可将电动滑轨安装在炉体下端，将炉体滑动，以达到快速升温和快速降温的效果滑动速度：0-70 mm/s（可调）
升温和降温速率	RS485接口和控温软件可安装在炉体内，将控温程序和温度曲线导入电脑中（仪器中不包含，客户需额外出费用在本公司购买）为了获得zei大的升温速率，可将炉体升温到设定温度，然后将炉体滑到样品盛放位置加热速率: 15°C/sec (RT - 150°C);10°C/sec (150°C - 250°C);7°C/sec (250°C - 350°C);4°C/sec (350°C - 500°C);3°C/sec (350°C - 550°C);2°C/sec (550°C - 650°C);1°C/sec (650°C - 800°C);0.5°C/sec (800°C - 1000°C);冷却速率:15°C/sec (1000 - 950°C);10°C/sec (950°C - 900°C);7°C/sec (900°C - 850°C);4°C/sec (850°C - 750°C);2°C/sec (750°C - 600°C);1.5°C/sec (600°C - 500°C);1°C/sec (500°C - 400°C);0.5°C/sec (400°C - 300°C);
可选	可以选购2-4通道质子流量计混气系统（精度1.5%）
外形尺寸	炉体: 550 x 380 x 520 mm 滑轨长度：1750 mm
净重	220 Lbs.
质保期	一年质保期，终生维护（不包括炉管、密封圈和加热元件）
质量认证	CE Certified
使用注意事项：	炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）