YRTP快速退火炉

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煜志马弗炉/电阻炉/实验炉, YRTP快速退火炉是一款多功能的真空气氛烧结炉，既可以用于材料的快速升降温退火，也可用于化学气相沉积（CVD）法，在镍或......

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技术特点

【技术特点】-- YRTP快速退火炉

产品介绍

YRTP快速退火炉是一款多功能的真空气氛烧结炉，既可以用于材料的快速升降温退火，也可用于化学气相沉积（CVD）法，在镍或铜箔上制备石墨烯的制备，稍加调整，一机多用，被广泛的应用各研究院所。

加热系统采用环形红外短波加热器，最快升温速率可达300℃/S，测温采用精准的S型贵金属热电偶直接测量式样表面，使加热工件（式样)的温区更加均匀准确，控制界面采用大尺寸触摸屏，傻瓜智能式操作，可预设置十条温度曲线。控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式，使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±3℃，经过长期多次的各种试样试验验证，已被应用于半导体器件研发及生产等领域，广泛满足离子注入后的快速退火，欧姆接触快速合金，硅化物合金退火，氧化物生长，铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积及其它快速热处理工艺的要求。

技术参数

产品型号	YRTP-1100
炉体结构	双层壳体结构，高精度移动平台
额定温度（℃）	1100
使用温度（℃）	≤1000
温场均匀性（℃）	±3℃
温度状态工艺时间（S)	2~100（100~1000℃）
最快升温速（℃/S）	200
降温速率（℃/S）	1~200（通氮气，速率更快）
温度控制模式	智能模糊全闭环PID控制
操作方式	触摸屏控制
超高温状态检测	软件检测出温度信息出现高温异常时，切断主回路
触摸屏尺寸	7“LED
最大功率（kW）	15
额定电压	AC380~400V，50HZ（60Hz定制）
传感器类型	S型单铂铑
反应腔室内径尺寸	Φ100X200
式样有效空间	4“
真空系统	选配
预留真空抽口	KF16
进出气接口	Φ6卡套
尺寸重量	长1000×深600×高600mm；净重：约50kg