型号 | 容量 kg | zei高工作温度 ℃ | 冷态极限 真空度 Pa | 压升率 Pa/h | 额定中频功率 kW | 额定中频 频率 Hz | 中频 电压 V |
YVM-010I | 10 | 1700 | 5×10-3 | 3 | 60 | 1000～4000 | 250 |
YVM-025I | 25 | 1700 | 5×10-3 | 3 | 100 | 1000～4000 | 250 |
YVM-050I | 50 | 1700 | 5×10-3 | 3 | 100 | 1000～4000 | 300 |
YVM-100I | 100 | 1700 | 5×10-3 | 3 | 160 | 1000～4000 | 300 |
注：以上技术参数可根据工艺进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。 | |||||||
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