单色器 D/f= 1/11
波长范围: 300nm~850nm
光栅 1800L/mm
狭缝 宽度0~2mm连续可调,缝口精度5μm,缝口平行度5μm
光源 半导体激光器
输出波长 532nm
输出功率 大于100mw
技术指标
波长精度 小于±2cm-1
波长重复性 小于±1cm-1
杂散光 小于10-3
谱线半宽度 波长在550nm附近小于0.5 cm-1(约0.06nm)
外形尺寸 1000mm×700mm×500mm
重量 100kg
- 主要参数
名称 | 参数 |
测量方式 | 定性/半定量检测 |
激光器(激发波长) | 532nm(633nm、785nm可扩展) |
光谱范围 | 50~7000cm-1 |
光谱分辨率 | ≤1cm-1 |
波长精度 | ≤±1cm-1 |
灵敏度 | 可观察到硅的四阶峰 |
空间分辨率 | x/y轴:0.01μm z轴:0.002μm(与显微镜的微调齿轮减速比相关) |
Mapping行程 | 3〞×2〞 |
CCD光谱探测器尺寸 | 26.6×3.2mm |
有效像素 | 1650×200 |
像素尺寸 | 16×16μm |
共焦针孔 | 50μm,150μm,200μm,400μm |
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