完美的真空解决方案 满足zei高要求
普发真空拥有抽速介于10到2,700 升/秒的完整涡轮分子泵产品系列。产品具有很高的性价比和灵活的安装方式。经过实践验证的轴承系统提供了更优化的可靠性。通常有两种类型的轴承可供选择——一种是由前级真空端的陶瓷球轴承与高真空端的永磁径向轴承组合而成的复合轴承系统,另一种是完全主动式的磁悬浮轴承系统,其转子悬浮空中,无任何接触或磨损。得益于精密的转子设计,使产品具有更出色的抽速,更好的前级泵兼容性和更大的气流量,对于小分子气体具有更高的压缩比。
分子泵 Hipace® 10-800 l/s 技术参数
分子泵型号 | 分子泵连接尺寸 DN | 抽速 l/s | 压缩比 | zei高启动压强 hPa | 极限压力 | 全转速气体流量hPa l/s | 启动时间 | 重量 | |||
进气口 | 排气口 | 氮气 | 氦气He | 氢气 H2 | 氮气 | 氮气N2 | 氮气N2 | min | kg | ||
HiPace® 10 | 25 | 16 | 10 | 6 | 3.7 | 3X106 | 25 | < 5X10–5 | 0.37 | 0.9 | 1.8 |
HiPace® 60 P | 63 | 16 | 64 | 48 | 28 | 1X106 | 4 | < 1X10–7 | 9.2 | 1.1 | 2.2 |
HiPace® 80 | 63 | 16 | 67 | 58 | 48 | > 1X1011 | 22 | < 1X10–7 | 1.3 | 1.75 | 2.4 |
HiPace® 300 HiPace® 300 P HiPace® 300 Plus | 100 | 16 | 260 | 255 | 220 | > 1X1011 | 15(控制器TC 110) | < 1X10–7 | 5(控制器TC 110) | 3.5(TC 110) | 5.8 – 8.2 |
HiPace® 400 | 100 | 25 | 355 | 470 | 445 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.6 – 17.5 |
HiPace® 700 HiPace® 700P HiPace® 700 Plus | 160 | 25 | 685 | 655 | 555 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.5 – 17.4 |
HiPace® 800 HiPace® 800 P | 200 | 25 | 790 | 700 | 580 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 12.8 – 19.1 |
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