普发真空ACP 15 / 28 / 40 多级罗茨泵

优势一览 

• zei佳解决方案——涡轮和油泵理想的替代品
  

• 空气冷却——无供水安装和操作成本

• 变频器——电度表，远程操作模式(rs - 485，干触点，多轮转速选择(省电，降噪,适应应用程序周期)

• 几个气体端口选择——净化气体，气体镇流器，应用程序中其他特定的端口根据

• 通用电源——宽电压50/ 60hz单相和三相

• 标准——符合CE标准，UL/CSA认证，SEMI S2认证

应用领域

分析仪器 工业应用 半导体工具 等离子清洗机