应用领域
电子显微镜
质谱
泄漏检测
服务
SplitFlow泵的服务概念具有很大的灵活性,可以根据客户需求进行调整。长达4年的维护周期是可能的。
驱动的概念
SplitFlow泵可选用任何类型的普发真空驱动电子设备。24 V和48伏电源版本都可以使用。在出厂前,可以在工厂内对驱动电子设备进行客户参数化。
广泛的配件
风扇 放气阀 真空计 防护屏和碎片防护罩 特殊电缆 电源包 阀门 继电器箱
有两种类型可以使用
a)任何标准的HiPace泵,具有用于所有尺寸和法兰类型的附加侧旋塞
b)SplitFlow泵,有特定的尺寸和法兰配置
这些SplitFlow泵的泵速可达500l /s。它们可以设计为10-11 hPa的压力范围。由于已证实的轴承系统,在前真空端有一个滚珠轴承,并且在高真空端有一个永久的磁性轴承,很长的转子可能有几包转子盘。对于许多应用程序来说,对泵的大小和所需的真空端口进行zei优的适应性调整是可能的。质谱仪为SplitFlow提供了一个很好的例子。
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