技术特点
【技术特点】-- 普发真空CombiLine系列罗茨泵组
CombiLine 代表了各种罗茨泵组,特点是将前级泵、抽速和配件区别开。它是针对高要求工艺(例如电子束焊接、冷冻干燥模拟室)的定制化解决方案。
标准 CombiLine 泵组
配备单级 HenaLine 旋片泵的 CombiLine WU 罗茨泵组
配备两阶段 DuoLine 旋片泵的 CombiLine WD 罗茨泵组
配备 HeptaDry/UniDry 干式压缩泵的 CombiLine WH 罗茨泵组
干式罗茨泵站 (CombiLine WH)
普发真空提供干式罗茨泵站,将罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。
干式罗茨泵站是面向高要求工艺(例如半导体行业)的一流解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺,例如装载互锁应用,或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术zei大吞吐量和显示面板制造,我们都可以提供解决方案。
【技术特点对用户带来的好处】-- 普发真空CombiLine系列罗茨泵组
【典型应用举例】-- 普发真空CombiLine系列罗茨泵组
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