技术指标：
| 抽气速率（l/s） | N2：3000 Ar：2750 He：2300 H2：1100 | 压缩比 | N2：＞1E8 Ar：＞1E8 He：＞1E4 H2：＞1E3 |
| 极限压强（Pa） | 10-7（橡胶密封） | 进气口法兰 | DN320 ISO F（标配） |
| 额定转速（rpm） | 21000 | 启动时间（min） | ≤12 |
| 停机时间（min） | ≤26 | 安装方式 | 任意角度 |
| 冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速（l/s） | ≥30 |
技术指标
抽速速率（L/s）：N2：3000 Ar：2750 He：2300 H2：1100
压缩比：N2：＞1E8 Ar：＞1E8 He：＞1E4 H2：＞1E3
极限压强（Pa）：10-7（橡胶密封）
进气口法兰：DN320 ISO F（标配）
排气口法兰：KF40
额定转速（rpm）：21000
启动时间（min）：≤12
停机时间（min）：≤26
安装方式：任意角度
冷却方式：水冷
推荐前级泵抽速（l/s）：≥30
供电电源（V AC）：220±10％，50Hz 110±10％，60Hz
重量（kg）（ISO F）：76
推荐冷却水温度（℃）：20±5
冷却水流量（L/min）：3
最大瞬时入口流量（sccm）：N2：2100
最大连续出口压强（Pa）：300
尺寸
CXF-320/3001型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示，外形对应尺寸详细数值见表。
CXF-320/3001型泵外形尺寸参数表（单位：mm）
| 型号 | CXF-320/3001 | ||
| 入口法兰 | ISO F | ||
| A | 417 | M | 52.5 |
| B | 328 | N | 191 |
| C | 288 | O | 30° |
| D | 285 | P | 189 |
| E | 425 | Q | 176 |
| F | 342 | R | 30° |
| G | 358 | S | 10 |
| H | 337 | T | 40 |
| I | 153.5 | U | 95 |
| J | 168.5 | V | 231 |
| K | 84 | W | 66 |
| L | 198.5 | ||
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经销商
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