【技术特点】-- CXF-320/3001型磁悬浮分子泵

CXF-320/3001型磁悬浮分子泵

       磁悬浮分子泵是依靠磁力轴承支撑轴系的分子泵。系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制备、芯片制造、工业镀膜、科研设备等领域应用需求开发的真空获得设备，抽速为1400L/s到3000L/s，应用压力范围为20Pa到10^-7Pa，包含ISO-K、ISO-F、ISO-CF三种气体入口连接形式。

产品特点：

节能：无摩擦，避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30％

高效：更长的连续工作时间、高气流量和高抽速

灵活：紧凑型结构，满足更小的物理空间需求、任意角度安装，适合各种设计需求、丰富扩展功能，满足客户定制化需求

技术指标：

应用领域：

半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理

科学研究、加速器、光伏、Low-E玻璃镀膜、ITO镀膜、光学镀膜、装饰镀膜、平板显示、真空炉、电真空、新能源、新材料、真空干燥、低温制冷、薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻、电子器件

技术指标

抽速速率（L/s）：N2：3000   Ar：2750   He：2300   H2：1100

压缩比：N2：＞1E8 Ar：＞1E8   He：＞1E4   H2：＞1E3

极限压强（Pa）：10-7（橡胶密封）

进气口法兰：DN320 ISO F（标配）

排气口法兰：KF40

额定转速（rpm）：21000

启动时间（min）：≤12

停机时间（min）：≤26

安装方式：任意角度

冷却方式：水冷

推荐前级泵抽速（l/s）：≥30

供电电源（V AC）：220±10％，50Hz      110±10％，60Hz

重量（kg）（ISO F）：76

推荐冷却水温度（℃）：20±5

冷却水流量（L/min）：3

最大瞬时入口流量（sccm）：N2：2100

最大连续出口压强（Pa）：300

尺寸

CXF-320/3001型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示，外形对应尺寸详细数值见表。

CXF-320/3001型泵外形尺寸参数表（单位：mm）

产品特性

【技术特点对用户带来的好处】-- CXF-320/3001型磁悬浮分子泵

【典型应用举例】-- CXF-320/3001型磁悬浮分子泵

【产品所获奖项】-- CXF-320/3001型磁悬浮分子泵

一、应用领域半导体制造、玻璃镀膜、太阳能电池、电子显微镜、冶金、等离子技术、医疗设备等领域二、技术指标?型号CXF-320/3000抽气速率（L/s）3000排气口法兰KF40进气口法兰ISO‐F320（其它法兰口需要定制）DN320LF极限压强≦5×10‐7Pa建议启动压强5Pa额定转速（rpm）

上市时间：2017年4月