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CXF-320/3000型磁悬浮分子泵

tel: 400-6699-117 1000

中科科仪真空泵, 一、应用领域 半导体制造、玻璃镀膜、太阳能电池、电子显微镜、冶金、等离子技术、医疗设备等领域

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二、技术指标

?

型号

CXF-320/3000

抽气速率(L/s

3000

排气口法兰

KF40       

进气口法兰

ISOF 320(其它法兰口需要定制)


DN320LF         

极限压强

5×107Pa

建议启动压强

<5Pa     

额定转速(rpm

21000

启动时间(min

12

振动值(μm

<0.05

建议前级泵(L/s

15

水嘴

内径Φ10直插自密封

冷却方式

水冷

冷却水温度(°C

20

冷却水流量( L/min

1

冷却水压力(mpa

0.15

环境温度(°C

545

安装方式

竖直、水平、倒立

重量(kg

70



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