技术指标
进气口法兰:DN400 ISO-K
排气口法兰(ISO-KF):DN100 ISO-K
抽速速率(L/s):N2:4500 He:3200 H2:2000 Ar:4200
压缩比:N2:5E7 He:1E3 H2:5E2 Ar:5E7
极限压强(Pa):2E-6
最大连续前级压强(Pa):100
最大前级压强(Pa):N2:300
最大气载量(sccm):N2:5500 He:4000 H2:3200 Ar:2100
额定转速(RPM):15300
启动时间(min):≤10
冷却方式:水冷
冷却水流量(L/min):≥1
冷却水温度(℃):≤25
电源电压(V AC):DC24/AC220
最大功率(W):≤1100
适配电源型号:FD-III
建议前级泵(L/s):30
重量(kg):118
尺寸
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经销商
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