技术指标:
进气口法兰 | DN160 CF DN160 ISO-K | 排气口法兰(ISO-KF) | DN40 |
抽速速率(L/s) | N2:700 He:580 H2:260 Ar:680 | 压缩比 | N2:1E9 He:1E7 H2:1E6 Ar:1E9 |
极限压强(Pa) | CF:6E-8 ISO-K:6E-7 | 最大连续前级压强(Pa) | 300 |
最大前级压强(Pa) | N2:550 | 最大气载量(sccm) | N2:1400 He:1000 H2:800 Ar:550 |
额定转速(RPM) | 36000 | 启动时间(min) | ≤7 |
冷却方式 | 水冷 | 冷却水流量(L/min) | ≥1 |
冷却水温度(℃) | ≤25 | 电源电压(VAC) | DC24/AC220 |
最大功率(W) | ≤500 | 适配电源型号 | FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II |
建议前级泵(L/s) | 4~8 | 重量(kg) | 19(LF) 20.5(CF) |
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