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FJ-80型复合分子泵机组

tel: 400-6699-117 5593

中科科仪真空泵, 系统抽速高、极限真空好,可通入大流量工艺气体;提供无油真空环境......

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主要配置:

型号

组成

FJ-80

分子泵

FF-63/80

机械泵

干式隔膜泵

油封旋片泵

DIVAC 0.8T

GHD-031B

过渡腔

DN63CF35/KF40/KF16(可定制)

 

技术指标:

进气口法兰DN63 ISO-K DN63 CF排气口法兰(ISO-KF)快插φ8
抽速速率(L/s)N2:62 He:55 H2:34 Ar:65压缩比

N2: 1E9 He: 1E5

H2:1E4  Ar:1E9

极限压强(Pa)3E-5(ISO-K);5E-6(CF)建议启动压强(Pa)<50
前级泵型号GHD-031B①(标配 standard)冷却方式风冷 Air
输入电压频率(V/Hz)220±20/50环境温度(℃)5-40
安装方式垂直外形尺寸L*W*H(mm)400×300×260
重量(kg)16-21



厂家资料

地址:北京中关村北二条13号

电话:400-6699-117 转 5593

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