主要配置:
型号 组成 | FJ-80 | |
分子泵 | FF-63/80 | |
机械泵 | 干式隔膜泵 | 油封旋片泵 |
DIVAC 0.8T | GHD-031B | |
过渡腔 | DN63转CF35/KF40/KF16(可定制) |
技术指标:
进气口法兰 | DN63 ISO-K DN63 CF | 排气口法兰(ISO-KF) | 快插φ8 |
抽速速率(L/s) | N2:62 He:55 H2:34 Ar:65 | 压缩比 | N2: 1E9 He: 1E5 H2:1E4 Ar:1E9 |
极限压强(Pa) | 3E-5(ISO-K);5E-6(CF) | 建议启动压强(Pa) | <50 |
前级泵型号 | GHD-031B①(标配 standard) | 冷却方式 | 风冷 Air |
输入电压频率(V/Hz) | 220±20/50 | 环境温度(℃) | 5-40 |
安装方式 | 垂直 | 外形尺寸L*W*H(mm) | 400×300×260 |
重量(kg) | 16-21 |
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