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FJ-80型复合分子泵机组

tel: 400-6699-117 1000

中科科仪真空泵, 系统抽速高、极限真空好,可通入大流量工艺气体;提供无油真空环境

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技术特点

【技术特点】-- FJ-80型复合分子泵机组

FJ-80型分子泵机组


产品特点:

性能优异:系统抽速高、极限真空好,可通入大流量工艺气体

环境清洁:提供无油真空环境,油泵系统可有效防止油污染

使用便捷:便于移动,一键延时启动,启动时间连续可调,接口丰富

应用广泛:实验室科研、质谱分析、表面分析、溅射和蒸发镀膜等


主要配置:

型号

组成

FJ-80

分子泵

FF-63/80

机械泵

干式隔膜泵

油封旋片泵

DIVAC 0.8T

GHD-031B

过渡腔

DN63CF35/KF40/KF16(可定制)

 

技术指标:

进气口法兰DN63 ISO-K DN63 CF排气口法兰(ISO-KF)快插φ8
抽速速率(L/s)N2:62 He:55 H2:34 Ar:65压缩比

N2: 1E9 He: 1E5

H2:1E4  Ar:1E9

极限压强(Pa)3E-5(ISO-K);5E-6(CF)建议启动压强(Pa)<50
前级泵型号GHD-031B①(标配 standard)冷却方式风冷 Air
输入电压频率(V/Hz)220±20/50环境温度(℃)5-40
安装方式垂直外形尺寸L*W*H(mm)400×300×260
重量(kg)16-21


产品特性



【技术特点对用户带来的好处】-- FJ-80型复合分子泵机组


【典型应用举例】-- FJ-80型复合分子泵机组



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