流路材料 纯钛、红宝石、氧化锆陶瓷
压力范围 0 － 2.0Mpa

流量范围 1-200ml/min

压力脉动 ≤ 0.2Mpa

压力准确度 ≤ 0.1Mpa

流量设定误差 ≤ 2% （ 1 ～ 50ml/min 内） 
             ≤ 1.5% （ 50 ～ 200ml/min 内）

流量精确度 RSD ≤ 1.5% （ 1 ～ 50ml/min 内） 
          RSD ≤ 1% (50 ～ 200ml/min 内 )

工作电压 220V±10%,50/60Hz

功率 75W   重量 12Kg

外形尺寸 360 mm × 255 mm × 160 mm