蒸发源

Bradley型 (6.15mm   rods),高强度不锈钢结构

蒸发控制

基于微处理器的反馈回路控制，能够进行远程电流/电压感应，基于真空水平变量的安全互锁功能，zei大电流180A，提供过流保护

样品台

可装置12个样品座，高度在30mm范围内可调

模拟计量

真空: atmos - 0.001mb; 电流: 0-200A

厚度监控

MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)

控制方法

自动蒸发控制，使用程序设定的电压和时间

以脉冲或连续方式进行完全手动控制

数字定时器（0－10s）

数字电压设置（0.1 to 6.0V）

真空系统

真空泵

2级直连式高速真空泵

抽气速率

3.0 m3/小时 ，真空度到 0.1mb所需时间30秒.

极限真空

5 x 10-3mba

桌上系统

真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统