VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪

产品型号：VTC-600-3HD

品牌：沈阳科晶

产品产地：中国

产品类型：国产

原制造商：沈阳科晶

状态：在售

厂商指导价格： 10~30万元[人民币]

上市时间： 2011年

英文名称：VTC-600-3HD

优点：产品简介：VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪是zei新研制开发的镀膜设备，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。与同类设备相比，其不仅应用广泛，且具有体积小便于操作的优点，是一款实验室制备材料薄膜的理想设备，特别适用于实验室研究固态电解质及OLED等。