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技术参数 | 1、电源电压：220V 50Hz 2、总功率：2.5KW 3、极限真空度：< ?E-6mbar（配合本公司设备使用可达到?E-5mbar） 4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度） 5、靶枪数量：3个 6、靶枪冷却方式：水冷 7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同） 8、直流溅射功率：500W（可选） 9、射频溅射功率：300W/500W（可选） 10、载样台：?140mm 11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调 12、保护气体：Ar、N2等惰性气体 13、进气气路：质量流量计控制2路进气，每个流量为100SCCM | ||
产品规格 | 主机尺寸：500mm×560mm×660mm，整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg | ||
标准配件 | 1 | 直流电源控制系统 | 2套 |
2 | 射频电源控制系统 | 1套 | |
3 | 膜厚监测仪系统 | 1套 | |
4 | 分子泵（德国进口） | 1台 | |
5 | 冷水机 | 1台 | |
6 | 冷却水管（?6mm） | 4根 | |
可选配件 | 金、铟、银、白金等各种靶材 | ||
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