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NTE-3000 热蒸镀系统

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那诺-马斯特镀膜机, NTE-3000热蒸发系统概述:NANO-MASTER NTE-3000是一款PC计算机控制的台式热蒸发系统,在有机物和金属沉积方面具有广泛的应用。设备的设计经过非常慎重的考虑:在小的占地面积情况下实现干净、均匀、可控及可重复的工艺过程。它们具有低价格, 高性能以及高能力的特点,可满足于客户研发及小规模生产的应用要求。 NTE-3000热蒸发系统可以在设定的RMS电流下,或者在闭环的配置下操作,并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。

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技术特点

【技术特点】-- NTE-3000 热蒸镀系统


NTE-3000热蒸发系统产品特点:

  • zei大可支持7”的方片或200mm的晶圆片

  • 沉积速度可控

  • 旋转的样品台

  • 双坩埚

  • 2KVA SRC控制电源

  • 晶振式膜厚监控仪

  • 通过LabView软件实现PC计算机控制


NTE-3000热蒸发系统相似产品型号:

  • NTE-4000  基于PC计算机全自动控制的独立系统

  • NTE-3500  基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立系统

  • NTE-3000  基于PC计算机全自动控制的双蒸发源台式系统

  • NTE-1000  计算机控制的单蒸发源台式系统




【技术特点对用户带来的好处】-- NTE-3000 热蒸镀系统


【典型应用举例】-- NTE-3000 热蒸镀系统



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