规格
仪器尺寸
225mm 宽 x 420mm 深325 x 325mm 高（480mm 高，涂布头打开）
重量
8.7千克
溅射靶材
圆盘式 57 mm Ø 0.1mm 厚的金 （Au） 靶材包含在配件包中（提供金/钯 （Au/Pd） 和银 （Au） 靶材选项）
试样阶段
50mm Ø 载物台
真空
环形交叉
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经销商
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