牛津仪器等离子体增强化学气相沉积系统（PECVD） PlasmaPro 100

产品型号：PECVD PlasmaPro 100 Sapphire

品牌：牛津仪器

产品产地：英国

产品类型：进口

原制造商：牛津仪器

状态：在售

厂商指导价格： 50~80万元[人民币]

上市时间： 2013-07-04

英文名称：PECVD PlasmaPro 100 Sapphire PlasmaPro 100 Etch & Deposition Tool

优点：该设备是一个灵活和功能强大的等离子体刻蚀和淀积工艺设备。 采用真空进样室进样可进行快速的晶片更换、采用多种工艺气体并扩大了允许的温度范围。