● 工作腔室：165mm外径 x 127mm高

● 触摸屏全图像用户界面

● 靶材：标配直径57mm x 厚0.1mm Au靶

● 样品台：标配旋转台，直径60mm，转速8-20 rpm ，可选配旋转倾斜台。

● 真空系统：双程旋转机械泵

● 极限真空度：2 x 10^-2mbar

● 溅射真空度： 3 x 10^-2 mbar与5 x 10^-1mbar之间

● 溅射电流：0-80mA

● 溅射时间：zei长60分钟

● 碳蒸发：稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发，确保碳棒可重复蒸碳，电流脉冲1~90A。

● 尺寸和重量：仪器机箱585mm宽x 470mm长 x 410mm高 (总高: 650mm)