英国QUORUM Q150T新型触摸屏高真空一体化溅射镀膜仪

主要技术指标:

● 工作腔室：150mm内径 x 127mm高

● 触摸屏全图像用户界面

● 样品台：标配旋转台

● 真空系统：

    涡轮分子泵：带有空气冷却的涡轮分子泵

    旋转机械泵：双级旋转机械泵

● 溅射电流：0-150mA；可预设膜厚（需FTM选项）或使用内置定时器

● 溅射时间：zei长60分钟

● 碳蒸发：稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发，确保源自碳棒或碳丝的可重复蒸碳。

● 金属蒸发/光阑清洁头：用于源自钨丝篮或舟的金属热蒸发。

● 尺寸和重量：仪器机箱：585mm宽x 470mm长 x 410mm高 (总高: 650mm)

● 仪器总重量：33.4Kg