TESCAN S9000 超高分辨型场发射扫描电镜

TESCAN S9000 新一代超高分辨场发射扫描电镜

TESCAN S9000 是一款功能极其强大的分析仪器，适用于纳米材料的形貌表征以及微观分析。S9000 配置 Triglav™ 型 SEM 镜筒，具有超高的分辨率，在低电压下尤为明显；镜筒内探测器系统具有电子信号过滤能力，可以获得更好的图像衬度和表面灵敏度，非常适用于不导电样品的成像，如陶瓷、无涂层生物样品，以及在半导体光敏样品。此外，S9000 配备肖特基场发射电子枪，能够提供高达 400 nA 的束流，结合 Triglav™ 型 SEM 镜筒所具备的出色纳米尺度分析性能和高稳定性，为微分析和长耗时样品的分析应用提供了zei佳条件。

TESCAN S9000 使用了全新的 TESCAN Essence™ 软件，用户界面友好，可以满足各类应用需求，可定制的布局以及自动化的样品制备功能，zei大限度地提升了操作便捷性和工作效率。

S9000 FE-SEM 主要优势：

* 强大的微观形貌观测和微分析能力

TESCAN zl的 Triglav™ 型 SEM 镜筒具有 TriLens™ 三物镜系统 ，适用领域更加多样化。UH-resolution  物镜提供的超高分辨率非常适合于形貌细节观察，使研究人员能够更好的分析纳米级样品。全新的高分辨 Analytical 物镜可实现无漏磁成像，是磁性样品观察和分析（EDS, EBSD）的理想选择。第三个物镜可以实现多种观测模式切换，新一代 Triglav™ 镜筒还具有自适应束斑优化功能，可以提高了大束流下的分辨率，这一特点有利于更好的进行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。

* 提供zei佳的分析条件

肖特基场发射电子枪能够产生高达 400 nA 的电子束流，电压也可以快速改变并保证在所有的分析应用下都能够获得良好的信号。

* 让复杂的应用变的前所未有的简单

新一代 TESCAN Essence™ 是一款简化的、支持多用户的软件，它的布局管理器可以帮助用户快速、方便地访问所有主要功能。软件界面可自定义，以zei好地适应特定的应用方向，符合不同用户的使用偏好。软件的各种功能模块、向导和应用方案使得无论是入门级用户或是专家级用户都能够轻松顺畅的掌握扫描电镜的操作，从而提升样品的处理速度，提高工作效率。

* 可以获得不同衬度图像，zei大程度洞察样品 

TESCAN S9000 配备 TriBE™ 探测器系统：包含三个背散射电子探测器，可以根据角度和能量的差异选择性地收集信号。Mid-Angle BSE 和 In-Beam f-BSE 探测器位于镜筒内，可以接收中角度和轴向的背散射电子，而样品室内背散射电子探测器则用于接收广角背散射电子。同时，S9000 还配备 TriSE™ 探测器系统：共有三个二次电子探测器，可在所有工作模式下以zei佳方式获取二次电子：In-Beam SE 探测器可以在非常短的工作距离下接收二次电子；SE（BDM）为电子束减速模式下的二次电子探测器，可以提供zei佳的分辨率；样品室内的二次电子探测器则能提供zei佳形貌衬度的图像。

S9000 FE-SEM 突出特点：

ü  zl的电子信号选择检测功能，帮助用户获得更好的表面灵敏度和衬度

ü  Xe 等离子镜筒可提供高达 2 μA 的超高离子束流，并保持束斑质量

ü  超高加工效率，在 30 keV 下zei大视场范围超过 1 mm

ü  自适应束斑优化功能，有利于更好的进行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析

S9000 应用案例：

图1. 样品为铝箔，着路能量为 500 eV，可以清晰的观测到表面形貌细节

图2. 薄的生物标本，STEM 探测器，可同步采集 BF, DF 和 HADF 信号，提供超微结构信息

图3. OLED 显示单元中 Al contacts 及 SiO / SiN

图4. EBSD mapping，样品为不锈钢，采用分析模式，加速电压为 20 kV，探针电流达 20 nA,，像素大小为 100 nm

解决纳米尺寸特征的zei终分辨率

获得zl的Triglav™SEM与专有的三重物镜TriLens™，可提供同类zei佳的多功能性。 UH分辨率镜头提供的非凡分辨率是详细的形态特征的理想选择，从而使研究人员能够解析纳米级的特征。全新的高分辨率分析镜头可实现无场成像，是观察磁样和用于分析工作（EDS，EBSD）的理想选择。第三个物镜可以实现各种显示模式，以及改善微量分析的光斑形状优化。

不同的图像对比zei大的洞察力

三重BSE检测TriBE™用于角度和能量选择性信号采集。中角BSE和束内f-BSE探测器位于柱内并检测中角和轴向背散射电子，而室内BSE探测器探测广角电子。三重SE检测TriSE™可在所有工作模式下以zei佳方式捕获SE信号。柱内部的束内SE检测器可以在非常短的工作距离内检测电子。用于光束减速模式的SE探测器在BDM中提供zei终分辨率，而室内SE探测器提供出色的地形对比度。

改进和扩展的成像能力

下一代Triglav™柱中的束内检测系统经过优化，信号检测效率提高了三倍多。此外，扩展了检测能力，现在可以进行能量过滤的轴向BSE信号采集。这使得可以通过选择性地收集低损耗BSE来探索新的对比以提供增强的表面敏感性。

保证zei佳的微量分析条件

新一代Triglav™还具有自适应光斑形状优化功能，可在高电子束电流下提高分辨率。这样的特征有利于快速分析技术，例如EDS，WDS和EBSD。此外，肖特基电子枪能够产生高达400 nA的射束电流，快速的射束能量变化保证了所有微量分析应用的出色信号。

复杂的应用程序比以往任何时候都容易

新的TESCAN Essence™软件平台是一个简化的多用户用户界面，带有布局管理器，可以快速方便地访问主要功能。用户界面可以定制，以zei好地适应特定的应用程序和用户技能水平和偏好。多种软件模块，向导和方法使所有SEM应用程序都能为新手和专家用户提供简单易用的体验，从而提高生产率并有助于提高实验室的吞吐量。