高纯气体应用领域极广,无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂,都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业,高纯氮,氢,氩,氦可作为载气,保护气和配制混合气的气体来源。
高纯气中的微量杂质分析是色谱分析领域的难点。常规检测器中,因受到检测灵敏度或是检测气体种类的限制,无法获得理想的实验结果。
Ellutia氦气分析仪可提供一套高纯氦气中微量杂质检测的分析方法,检测限可达ppb级,满足实验室用户对高纯气体的分析要求。
产品特点
实现对氦气的高灵敏度检测
惰性气体吹扫,避免与空气接触所引起的外界污染
精密防泄露装置,避免潜在污染
配备高纯气吸气剂,去除微量杂质
尺寸规格小,不占据实验室空间
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高纯气/特气分析系统
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