GATAN Ilion II 697氩离子束抛光系统

Ilion II 697 Gatan氩离子抛光系统 主要技术参数：

1、 离子枪:        两个配有稀土磁铁的三元构造（阴极、阳极与聚焦极）潘宁离子枪，聚焦离子束设计,高性能无耗材

2、 抛光角度:     +10° 到 -10° ，每个离子枪可独立调节

3、 离子束能量:     100 V 到 8.0 kV

4、 离子束流密度: 10 mA/cm2 峰值

5、 抛光速度:     300 μm/h（8.0 kV条件下对于硅试样）

4.2样品台

6、 样品装载： Ilion的样品挡板, 装样简单，再次抛光位置准确，可重复使用，配合Sample Stub可直接转至SEM中观察

7、 样品旋转： 0.5到6 rpm连续可调

8、 束流调制：  独特的离子束调制功能，可进行扇形截面抛光（扇形角度为10到90度可调）和平面抛光

9、样品观察： 数码变焦显微镜，配有PC及Digital Micrograph软件采集图像，通过Gatan Digital Micrograph软件可进行实时成像（300x–2,200x）与图像存储和分析

10、液氮冷台：配置液氮冷台，样品zei低温度可达-120°C,有效减少离子束对样品造成的损伤

4.3真空系统

11、干泵系统：两级隔膜泵支持80升/秒的涡轮分子泵

12、压力：    5x10-6 托基本压力，8.5x10-5托工作压力

13、真空规： 冷阴极型，用于主样品室；固体型，用于前级机械泵

14、样品空气锁： 独特的Whisperlok设计，样品更换时间<1min，无需破样品室真空

4.4用户界面

15、10 英寸触摸屏： 操作简单，且能够完全程序化控制所有参数可进行配方操作。

16、配方操作模式：自定义不同的加工参数组合，实现一键操作。

参考招标参数：

河南师范大学 2016 化学优势学科第一批进口设备   招标编号：豫财招标采购-2017-981 

包 F 设备六、氩离子抛光系统招标参数  

本设备已做进口产品审批 

一、氩离子抛光系统（原装进口） 

1.仪器名称：氩离子抛光系统 

2.主要技术参数及要求 

2.1 主要功能：用于样品的截面制备及平面抛光的桌面型制样设备，以便样品在 SEM 及其它设备上进行检测分析。用于焊缝截面，集成电路焊点，多层薄膜截面，颗粒、纤维断面，复合材料、陶瓷、金属及合金、岩石矿物及其他无机非金属等各种材料的 SEM、EBSD样品，以及光电半导体材料、薄膜材料等对温度敏感材料的样品制备。 

*2.2 工作模式：必须具备具有平面抛光和截面抛光两种抛光模式。 

2.3 离子源 

*2.3.1 离子枪数量：≥2 把，配有稀土磁铁。 

*2.3.2 高性能无耗材：采用三元构造（阴极、阳极与聚焦极），聚焦离子束设计,高性能无耗材。 

*2.3.3 抛光角度: +10°到 -10°，每个离子枪可独立调节。  

2.3.4 离子束能量：1 keV—10keV。 

2.3.5 离子束流密度: 10 mA/cm2 峰值。 

*2.3.6 抛光速度:300μm/h（8.0 kV 条件下对于硅试样）。 

2.4 样品台 

2.4.1 样品装载：样品挡板设计，可重复使用，可直接转至 SEM 中观察。 

*2.4.2 样品旋转：0.5 到 6 rpm 连续可调。 

2.4.3 束流调制：采用单束调整或双束调制功能，可进行截面抛光和平面抛光。 

2.5 真空系统 

2.5.1 干泵系统：两级隔膜泵支持 80 升/秒的涡轮分子泵。 

2.5.2 压力：5x10 -6   托基本压力，8.5x10 -5 托工作压力。 

2.5.3 真空规：冷阴极型，用于主样品室；固体型，用于前级机械泵。 

*2.5.4 样品空气锁：样品更换时间<30 秒，无需破坏样品室真空。 

2.6 液氮冷台： 

2.6.1 配置液氮冷台，有效减少离子束对样品造成的损伤。 

*2.6.2 样品zei低温度可达-120°C, 

2.7 样品观察：   

*2.7.1 同时配置数码变焦成像系统和光学成像系统。 

*2.7.2 配有 PC 及 Digital Micrograph 软件采集图像，通过软件可进行实时成像（300x–2,200x）与图像存储和分析，同时能够持续地监控加工过程 

2.7.3 配置光学体视显微镜，用于样品制样观察。 

2.8 用户界面 

2.8.1 触摸屏：大屏幕触摸屏，能够完全程序化控制，所有参数可进行设定。 

2.8.2 配方操作模式：  自定义不同的加工参数组合，实现一键操作。 

3. 配置：带液氮冷台和控温装置的氩离子抛光仪 1 套包括： 

3.1 主机 1 台； 

3.2 离子枪 2 把或以上； 

3.3 样品空气锁 1 套； 

3.4 液氮样品冷却台 1 套； 

3.5 数码变焦显微镜 1 套； 

3.6 光学体视显微镜 1 套；  

3.7 计算机数据处理系统及软件 1 套； 

3.8 平面抛光样品座 1 套； 

3.9 截面抛光样品座 1 套； 

3.10 样品挡板 110 个； 

3.11 其他耗材：提供可使用三年以上耗材。 

3.12 带氩气（99.99%）钢瓶和减压阀 1 套， 15 或 30 升的液氮罐 1 个 

二、附件 

1 、附件名称：全自动喷雾干燥仪（原装进口） 

2、应用范围：适用于对一般物质或热敏感性物质的干燥如生物制品、生物农药、酶制剂等，可应用于药物化学、食品科学、有机化学、无机化学、香精香料、烟草化学、材料化学等相应学科。 

3、工作条件：连续工作 8 小时以上，电压：220V，环境温度：0‐40℃，环境湿度：≤50% 

4、技术指标 

4.1 动力系统 

4.1.1 处理样品能力：1.5 kg /h（水）, 2.0 kg/h（有机溶液） 

  4.1.2 zei小样品量：<10 ml 或 5g 

4.1.3 样品平均逗留时间： 1‐1.5 秒 

4.1.4 zei高温度：220°C 

4.1.5 空气流速：  35 立方米/h 

4.1.6 压缩气流速（空气/氮气）：200 ‐ 800 L/h, 5 ‐ 8 bar 

* 4.1.7 进料切换阀（能够自动切换纯溶液和样品原料进料，不需要手动改变管路的连接。） 

4.2 喷嘴 

4.2.1 样品颗粒范围：300nm‐60μm 

* 4.2.2 高精度喷嘴，喷嘴直径 0.7 mm ,喷嘴帽 1.4mm 和 1.5mm 带红宝石(红宝石喷嘴能保持雾化良好程度，保持样品颗粒均一稳定) 

4.2.3 长久精确的喷雾性能； 

*4.2.4 自动排除喷嘴堵塞, （在喷咀被堵塞时，会自动清除）. 

4.2.5 能够选配升级处理脂肪类样品，进行喷雾冷冻，运用气相固化直接将液体样品变成固体样品。 

*4.2.6 灭菌清洗系统（保持样品纯度） 

4.3：干燥室 

*4.3.1 对于水溶液和有机溶液，有不同的喷雾干燥圆筒。（做纯的有机溶剂如果遇到明火极易发生爆炸发生危险） 

4.3.2 整个喷雾干燥过程都是在玻璃器皿中进行，操作人员可清楚看到，如有问题可及时调整； 

4.4 分离/过滤系统 

4.4.1 样品平均逗留时间：   1‐2 秒 

* 4.4.2 除静电内壁涂层，带玻璃旋风接收器的台式喷雾干燥器，连接了导电层，从而可以防止静电结合以及由此产生的接收器中的产品流失。 

  4.4.3 入口过滤器能够过滤进入系统的空气污染物，包括尘埃颗粒，花粉和烟灰。 

  4.4.4 出口过滤器能够显示压力下降，为抽气机提供保护，并可允许清洗抽气机。 

4.4.5 对于某些药品的喷雾干燥,为达无菌的目的,可在使用前用高温热空气消毒,空气进口设置过滤器,以保持空气的洁净。 

5：配置： 

5.1：动力系统 

5.1.2 喷雾干燥主机一套。 

5,1,3 国产无油压缩机 1 台 

5.2 喷嘴 

5.2.1 高精度喷嘴，喷嘴直径 0.7 mm ,喷嘴帽 1.4mm 带红宝石一套 

5.2.2 内置自动清堵装置; 

5.3 干燥室 

5.3.1 侧面带有垂直出口的玻璃圆筒 1 个 

5.4 分离/过滤系统 

5.4.1 玻璃旋风接收器 1 个 

5.4.1 出口过滤器 1 个 

5.4.2 过滤袋 6 片 5.4.3 产品收集瓶 1 个 

注: *指标为产品关键指标