技术特点
【技术特点】-- 多功能离子溅射仪Combo 100
桌面级SEM扫描电镜用多功能离子溅射仪,特别适用于FE-SEM高分辨扫描电镜及FIB-SEM聚焦离子束扫描电镜样品的喷金以及样品等离子体清洗等多种用途。采用分子泵泵组获得9*10-6Torr本底真空,可以在mTorr气压下实现磁控溅射喷金,获得更为细腻的金膜,以满足FE-SEM和FIB高分辨扫描电镜等样品处理。同时具备远程RF射频离子源实现样品清洗,高效、低等离子体轰击损伤。核心部件采用国际一流品牌无油分子泵组,静音、无需操心真空系统和操作间环境泵油污染。保证设备具有优异的质量与稳定可靠性。触摸屏界面操作,即插即用。
【技术特点对用户带来的好处】-- 多功能离子溅射仪Combo 100
【典型应用举例】-- 多功能离子溅射仪Combo 100
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离子溅射仪
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