【技术特点】-- HORIBA Auto SE一键式全自动快速椭偏仪

新型的全自动薄膜测量分析工具，工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。采用工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。

1. 液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高

2. zl技术成像系技术，所有样品均可成像，对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.

3. 反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测试

4. 全自动集成度高，安装维护简便

5. 一键式操作软件，快速简单

6. 自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀性

主要特点：

·完全自动化设计，一键式操作，直接报告输出
·液晶调制技术，测量光路中无运动部件
·CCD探测系统，快速全谱输出
·多个微光斑尺寸选择，zl可视技术
·封闭式样品仓

1. 光谱范围：450-1000 nm

2. 多种微光斑自动选择

3. zl光斑可视技术，可观测任何样品表面

4. 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm

5. 70度角入射

6. CCD探测器

椭圆偏振光谱入门手册——测量膜厚、光学常数的强大工具

概要

Auto SE是一种新型的按键式全自动薄膜测量分析工具，仅需简单的几个按键操作，即可完成全自动测量和分析。

仅几秒钟即可完成样品分析，并提供完整的样品堆叠特性报告-包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性。

Auto SE 是一种高性能系统，它包括XYZ自动样品台、测量点实时成像和光斑尺寸自动选择功能，其各种各样的附件可满足用户对多种应用的需求。

Auto SE借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题、同时提供完整的操作指南，实现对故障进行轻松处理。

便捷的操作性能和大量自动化特性，使得 Auto SE 成为一种可用于常规薄膜测量和质量控制的理想设备。

特征

• 薄膜分析变得轻松简单

• 高性能系统

• 独一无二的光斑可视系统（zl技术）

• 多种附件选择

• 智能诊断

【技术特点对用户带来的好处】-- HORIBA Auto SE一键式全自动快速椭偏仪

【典型应用举例】-- HORIBA Auto SE一键式全自动快速椭偏仪