技术指标
| 机型 | Type 1 | Type 2 | Type 3 | |
|---|---|---|---|---|
| Z轴 | 马达驱动 | 标配（Z轴移动范围～10㎜） | ||
| PZT驱动 | 新增选配（Z轴移动范围～150 μm） | |||
| XY样品台 | 驱动方式 | 手动 | 电动 | |
| 移动范围 | ± 50 mm | ± 75 mm | ||
| 样品台尺寸 | W205 × D150 mm | W225 × D225 mm | ||
| 测角台 | 驱动方式 | 手动 | 电动 | |
| 移动范围 | ± 2° | ± 5° | ||
| 测量相机 | 标准相机或高像素相机 | |||
| 镜筒 | × 1或 × 0.5 | |||
| 变焦透镜 | × 0.7透镜（新增选配） | |||
| 物镜 | × 2.5 × 5 × 10 × 20 × 50 × 110 | |||
| 样品高度 | 标准 | 0～50 mm | ||
| 使用加高配件时 | 50～100 mm | 0～100 mm | ||
| 电脑OS | Windows 10 | |||
| 减震台（带支架） | 被动式或主动式 | |||
软件一览
| 标配 | 新增选配 | |
|---|---|---|
| 测量软件 | 表面形貌测量 | 大倾斜角测量 |
| 分析软件 | ISO参数（参照ISO25178） 轮廓分析、频带分解 负荷曲线分析、颗粒分析 热欧姆转换、线段分析 | 界面分析、层面分析 截面面积、线测量 |
| Type 1 | Type 2 | Type 3 | ||
|---|---|---|---|---|
| Z轴 | 马达驱动 | 标准搭配（zei大测量Z轴高度～10 mm） | ||
| PZT驱动 | 选配（zei大测量Z轴高度～150 μm） | |||
| XY样品台 | 驱动方式 | 手动 | 电动 | |
| 移动范围 | ±50 mm | ±75 mm | ||
| 样品台尺寸 | W205×D150 mm | W225×D225 mm | ||
| 测角台 | 驱动方式 | 手动 | 电动 | |
| 移动范围 | ±2° | ±5° | ||
| 观察相机 | 标准相机或超高像素相机 | |||
| 镜筒 | ×1 或 ×0.5 | |||
| 变焦镜头（×0.7） | 新增选配 | |||
| 物镜 | ×2.5 ×5 ×10 ×20 ×50 ×110 | |||
| 样品高度 | 标准 | 0～50 mm | ||
| 使用加高配件时 | 50～100 mm | 0～100 mm | ||
| 电脑OS | Windows 10 | |||
| 减震台（带支架） | 被动式或主动式 | |||
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