牛津仪器 Symmetry EBSD探测器

EBSD——电子背散射衍射仪——是一种强大的微观分析仪器，它能精密的分析和表征晶态材料的微观组织和性能，提高速度和数据质量。 Symmetry是牛津仪器公司基于CMOS技术发展的全新一代EBSD探测器，拥有空前的性能和易用性：

• 实时标定速度高达3000点/秒

• 相比传统CCD技术探测器速度提高30倍以上

• 为低束流和低电压分析提供了极高的灵敏度

• 百万像素高分辨率EBSD

• 在任意速度下均可获得高分辨率（不低于156 x 128 像素）

• 全新设计更易操作

CMOS的速度，CMOS的灵敏度，两者可兼得！

CMOS的速度

Symmetry EBSD探测器，速度超过3000点/秒。不仅针对常规应用，还可应用于大面积面分布、3D EBSD和原位实验等。

 CMOS的灵敏度

  无可比拟的灵敏度和动态范围，使得Symmetry成为zei具挑战性应用的理想之选。快速和高灵敏度，可以兼得。 CMOS采用低束流，高速度，高分辨率来获得完美的应用结果。

易用性

一个探测器适合所有的应用：探测器倾斜调整、动态校准、自动设置、与EDS无缝集成等特点，保证了每个人每次都能得到正确的结果。

新科学

Symmetry颠覆了其所在领域的传统规则。将开启EBSD应用的新篇章。

 Symmetry CMOS 对 CCD：速度  

技术突破

以CMOS为基础的相机，既快速又灵敏，已在其他技术领域发挥了重要的影响。Symmetry结合了特有的CMOS图像传感器，针对EBSD优化。它实现了以前任何EBSD探测器都无法拥有的高性能。无论是它的速度还是灵敏度，都无与伦比。

Symmetry CMOS 对 CCD：应用

“唯一面面俱到”的探测器

灵敏度前所未有的完美结合，保证了zei佳性能。在不损失质量的前提下，获得zei高的采集速度。Symmetry的高灵敏度意味着，即使是zei具挑战性的样品，比如复杂的氧化物或者薄膜材料，在达到采集的zei高质量与数据的同时，还能增加10倍的采集速度。

产品概览

咨询邮箱：china.info@oxinst.com

参考招标参数：

项目编号：20181110  项目名称：搭载EBSD系统的低真空热场发射扫描电镜

该系统能将高级的分析性能与高分辨场发射扫描技术相结合，利用成熟的电子光学元件，对颗粒、表面或者纳米结构快速获得清晰图像。可对多种样品（导电、非导电、含水、含油和加热样品等）进行高分辨的静态和动态显微结构、表面形貌、化学成分分布观测。EBSD用于晶体取向、微织构分析、物相鉴定、应变和真实晶粒尺寸测量等。该系统应同时实现高分辨形貌观察、微区成分测量和显微结构分析。可搭载和X射线能谱仪（EDS）用于微区成分分析，并具备点、线、面分析功能，对样品表面进行微区成分定性和定量分析。

1. 电子背散射衍射仪（EBSD）部分

1.1 高灵敏度CMOS相机, 分辨率1244 1024，束流100pA，可以采集到明显的衍射花样。无需电子制冷，CMOS相机直接安装于荧光屏后，充分靠近样品，并适合各种型号的电镜。

1.2 EBSD在线解析标定速度zei高3000pps(8 8binning)，在束流12nA时实测可达3000pps，花样清晰度156 128，电子图像分辨率高达8192 8192， EBSD面分布图分辨率高达4096 4096, 取向精度高达0.05度。

1.3 可通过软件/控制器软件控制探测器水平伸缩(速度15 mm/s，精度10um)及下移动(探测器完全插入状态下+/-25.4 mm移动范围，精度优于10 m)。探头的上下移动可以方便调整工作距离。

1.4 应用软件基于Windows 7平台，采用多任务设计，可以同时并行数个任务，并支持分屏显示及远程控制。操作软件完全与能谱仪软件一体化，可进行EBSD晶体取向分布分析。可根据能谱数据对EBSD花样进行预过滤，实现对未知相的相鉴定（Phase ID），实现能谱EBSD同时联机分析。

1.5 配置正版HKL标准数据库和ICSD海量晶体学数据库，已经滤掉伪对称数据。

1.6 专业CamerLink高速通讯接口，四核CPU工作站，保证解析的高速度。

1.7 具备5块FSD前置背散射探测器，提供样品取向衬度，成分衬度，形貌衬度。

1.8 软件配置

1.8.1 AZtec动态自动背景扣除技术，探测器参数自动优化，减轻用户工作量。切换样品、更换分析位置、以及EBSD探测器伸缩后均无需重新扣除背景或重新优化。

1.8.2 能对所有对称性（从三斜到立方）晶体材料的EBSP花样进行自动化的标定, 且各相的反射面可以独立选择，并可以进行带宽修正，可以对衍射带边缘及中间进行标定。

1.8.3 采用优化的Hough变换, 多条带标定方法（zei多可以用12根菊池带进行标定），根据平均角度偏差MAD结构因子进行完全自动化的菊池带识别和花样标定。适合金属、陶瓷、地质、半导体等多种类型的样品

1.8.4 专门的伪对称处理工具

1.8.5 EBSD花样驻点实时保存，将保存下来的原始花样同数据库中的花样直接比对, 以分辨非常复杂或结构非常接近的物象(Advanced Fit)。

1.8.6 配备极图软件包

1.8.8 配备相鉴定软件包

1.8.9 配备晶体反射文件生成软件包

1.8.10可自动剥离形变和再结晶区

1.8.11 高级功能软件包括：

Autolock漂移校正功能；

TruPhase真实相鉴定功能；

ODF 后处理功能；

Pseudo Symmetry 伪对称功能；

Colour FSD软件处理功能；

大面积拼接功能；

地质相数据库。

1.9 需要5个EBSD狗

2. 能谱仪系统（EDS）部分

超大面积能谱仪

该设备可与扫描电镜配套使用，用于材料的微区成分定性定量分析，并具备实时能谱面分布成像技术，随着样品的移动，实时刷新元素面分布信息。

探测器：分析型硅漂移电制冷探测器。晶体有效面积高 达65mm2，超薄窗设计, 无需液氮冷却，仅消耗电能。

能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV, 元素分析范围: Be4～Cf98

圆形对称芯片

FET场效应管同阳极独立封装，避免X射线的轰击

谱峰稳定性：1 000cps到400 000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV， 48小时内峰位漂移小于1.5eV

具备零峰修正功能, 可以快速稳定谱峰, 开机后无需重新修正峰位。

探测器自动伸缩，精确定位，无需手摇。

脉冲与图形处理器与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度8192 8192。

4096道多道分析器，处理时间、采集时间、通道数等可以自动设定。图像灰度、对比度自动调节，二次电子像及背散射像可同时采集

能谱应用软件采用zei新的AZtecLive实时交互平台，能够实现实时面分布成像功能，随着样品的移动，实时刷新元素面分布信息。并自动标定元素标签。同时具有位置记录功能，可以一键返回原先经过的位置。

基于Win7 技术，多线程设计，导航器界面, 支持用户自定义模式及账户管理，支持分屏显示及远程控制，支持中、英文等多种语言及色彩的操作界面

高帽滤波法，自动扣除背底

谱定性分析:可自动标识谱峰, 无禁止自动标定的元素，可进行谱重构，重叠峰自动峰剥离功能，和峰修正功能

定量分析:采用XPP定量修正技术, 对探测器硬件进行的全面Q-CAL修正。可对倾斜样品进行修正, 并增强对轻元素的修正，可进行低电压的定量修正; 具有完备的虚拟标样库; 具备有标样定量分析及无标样定量分析方法; 可以得到归一化和非归一化定量结果, 可以用化学配位法得到非归一化结果。用户也可以自己建立标样库。

具备全谱智能面分布和全谱智能线扫描分析功能。一次分析即可存储样品每一扫描位置(x, y)的所有元素的信息, 用户随后可以在离线状态下重构谱图，重新添加元素。全谱智能面分布图分辨率4096 4096。并可在任意位置重构线扫描结果。

具备全谱智能线扫描分析功能。一次线扫描分析即可存储扫描每一扫描位置(x, y)的所有元素的信息，用户随后可以在离线状态下重构任意元素的线扫描结果。线扫描宽度、平滑程度可以调节。

可将电镜图象实时传输到能谱仪的显示器上,并直接在能谱仪的显示器上，观察移动样品、调整放大倍数、亮度对比度、聚焦等参数后，图像或元素分布或成分的变化。并可以直接在该实时获得的图像上，进行点或面的分析。并且可静态采集当前视场后，设定任意多点或圆形、矩形、不规则形状区域等，能谱可依次进行自动分析

实验报告:多种输出格式, 单键可生成Word文档。

能谱分辨率指标都符合ISO15632:2012要求

3. 热场发射扫描电镜技术指标

3.1 电子光学系统

3.1.1 电子枪（灯丝）类型：肖特基热场发射电子枪；

3.1.2 高真空模式下分辨率不低于：1.5 nm @ 30kV；4 nm @ 1kV；

3.1.3 低真空下分辨率不低于：2.0 nm @ 30 kV；

3.1.4 放大倍率：10～600 000倍， 连续可调，无需更换模式;

3.1.5 加速电压：0.5kV ～ 30 kV，连续可调，无需更换模式；

3.1.6电子束流：zei大束流不低于20nA；束流稳定性高；

3.1.7 物镜系统:镜筒需满足不漏磁设计，需满足铁磁等磁性材料的近距离高分辨观测和EBSD测试。

3. 2 样品室及样品台

3.2.1 样品室：高度大于200mm，直径大于300mm。

3.2.2 五轴全自动马达驱动样品台：

移动zei大范围指标：100mm X，100mm Y，50mm Z，

T=﹣10 ～ +90 （倾斜），R=360 （旋转）；

zei大承重 2 kg；

3.3 探测器：需满足在高真空和低真空模式下均能进行二次电子像和背散射观察。

3.3.1样品室内二次电子探测器；

3.3.3 与观测台90度正交的样品室IR-CCD相机；

3.3.4 高灵敏度4象限背散射电子探测器；

3.3.5可变压力下二次电子探测器；

3.4 真空系统

3.4.1 机械泵、分子泵和离子泵；

3.4.2 样品室真空度：高真空模式极限真空度优于7 10-4Pa；

3.4.3 低真空压力范围：10～130Pa，步进可调

3.4.4 自动抽真空：完全气动阀自动控制。

3.5 数字图像记录系统

3.5.1显示图像分辨率：不小于 1024 768像素

3.5.2 zei大存储图像分辨率：不小于5120 3840像素

3.5.3 图像记录：TIFF，BMP，JPEG。

3.6 操作系统

3.6.1 操作方式： 可自动调节：电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿；

3.6.2 具有双通道功能，双屏幕显示不同探测器拍摄的图像；

3.6.3 应具有样品台图像导航功能；

3.6.4 断水、断电和真空状态不良下的自动保护。

3.7 附件接口

样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线能谱仪（EDS）、背散射电子衍射（EBSD）系统、红外CCD照相机、波谱仪（WDS）、CL等附件接口，且二次电子探测器、EDS 和EBSD接口分布应有利于多种手段的原位综合分析。

3.8其他耗材

备用灯丝及配套光阑2套，包含更换安装服务。

不间断电源UPS（延时6小时）。

4. 仪器的工作和匹配条件

4.1 EBSD 和能谱探头之间的匹配：EBSD必须与能谱仪匹配，并实现软件一体化控制，即在EBSD和EDS形成一体化系统，能同时分析材料的成分和结构。

4.2 扫描电镜和EBSD之间匹配条件：因地质样品多为不导电的材料，在高真空下条件下会发生放电，因此扫描电镜必须配备低真空功能。