牛津仪器 Symmetry EBSD探测器

优化的荧光屏

Symmetry具有高性能的荧光屏，是高速分析的理想之选，同时具有高灵敏度以完成需要低束流和低电压的应用。所有的系统均可配备内置的红外滤镜，适合原位加热实验中采集数据。

集成的前散射探测器系统

Symmetry可以配置5个独立前散射探测器（FSD），提供更加灵活的成像。所有的FSD探测器都正对样品，以获得更大的信号。

背散射位置——2个探测器，位于荧光屏之上，供采集原子序数像

前散射位置——3个探测器，位于荧光屏之下，供采集取向衬度像（伪彩色像）和表面形状衬度像。在透射菊池衍射（TKD）实验中，这些探测器还能提供薄样品的暗场像。

速度——可调整曝光时间，zei快可达到106点/秒的速度，提供高质量的成像。

快速准确的机械定位

利用软件或手柄控制，Symmetry自动的插入和退出，荧光屏可以以0.1mm的精度，快速而安静的定位于任何位置。无论荧光屏插入到什么位置，AZtec软件都会自动校准EBSD的几何参数，给用户以灵活和自信的系统表现。

先进高效的光学系统

Symmetry探测器的光学系统设计确保了高的效率和小的畸变。这就保证了即使是在很低的电子剂量的条件下仍然能获取高质量的花样，以便在低束流和低电压条件下实现高空间分辨率分析。因此，Symmetry是精细的相分析和高分辨EBSD的理想选择。

 示例：高分辨、无变形的α-Fe EBSD花样

波纹管SEM接口

Symmetry采用波纹管接口连接到SEM，保证SEM的真空完整性。波纹管经过专门设计，具有较长的伸入距离，以保证Symmetry兼容大样品仓SEM。

软件控制的倾转接口

倾转可调的功能使探测器的荧光屏升降至合适位置，使其在较大范围的工作距离上获取更佳的结果。倾转的机构完全由电机驱动，可在Aztec软件中完成操作和监控，以实现各种应用需求下的探测器几何位置优化。

软件内置自动校准程序，将自动读取并补偿探测器倾转和插入的数值，保证每次的标定。

与EDS无缝集成

Symmetry的设计能与所有牛津仪器的EDS探测器配合工作。Symmetry探测器的前端锥形的设计，允许荧光屏zei大可能的靠近样品，以获得zei大的采集立体角，也能允许同时采集EDS而不遮挡。就算达到zei快的3000点/秒的采集速度，同时采集EDS面分布也不会拖累速度。

辉长岩样品的EBSD相分布图，用Symmetry采集了17分钟   

同时采集的EDS元素面分布图 

灵活应对所有应用

Symmetry的设计既满足传统的背散射模式的EBSD，又适合透射模式（TKD）。Symmetry荧光屏定位的灵活性、高灵敏度和极快的速度，保证了对任何样品，总能得到好的结果。

 一个探测器完成所有的应用分析。左：双相钢焊接区的大面积取向分布图，视场宽度4.75mm；右：纳米Ni样品的TKD取向分布，视场宽度是500nm。

低技术电压运行

Symmetry高灵敏度使其可以快速有效地进行分析，甚至加速电压低至5kV。Symmetry是理想的探测器，足以应对多种挑战：首要考虑空间分辨率的应用；大变形结构的面分布图；对电子束敏感，不能采用高能 马氏体钢样品的花样质量分布图和反极图，在12kV加速电压下采集，速度为500点/秒，步长30nm。

马氏体钢样品的花样质量分布图和反极图，在12kV加速电压下采集，速度为500点/秒，步长30nm。

不接触的碰撞探测器

Symmetry包含了一个独特的不接触的碰撞探测器。探测到可能的碰撞后，会发出警报，以保证全年运行安全，并放心对多用户开放使用。

直观的相机设置

Symmetry可以在不同的模式下运行：每项设置都尽量简化易用，以便在高分辨花样和高速模式间无缝切换。用户无需担心任何相机的细节设置和校准，只需关注于zei重要的事情：它们的结果。

各种速度下高的花样分辨率

基于CMOS技术的Symmetry探测器并不需要通过过高的像素合并的方式来获取高的采集速度。基于CCD技术的探测器需要花样分辨率降低至40x30像素，以获取更快的速度；而对于Symmetry来讲，达到3000点/秒的速度时，花样的分辨率仍然高达156x128像素，相当于16倍基于CCD技术的探测器的像素。

而而且，对于需要花样细节的高分辨EBSD应用来讲，Symmetry能采集无畸变的1244x1024像素高分辨花样。真正实现了一个探测器适合多种应用。

双相钢样品中采集的衍射花样，10nA的束流：左：3000点/秒采集速度，156x128分辨率；右：100点/秒采集速度，1244x1024分辨率。

双相钢样品中采集的衍射花样，10nA的束流：左：3000点/秒采集速度，156x128分辨率；右：100点/秒采集速度，1244x1024分辨率。

EBSD - EBSD-电子背散射衍射分析，是显微结构表征的有力工具，它可以检测：

• 晶体取向

• 晶粒尺寸

• 织构

• 再结晶/变形分布

• 亚结构分析

• 应变分析

• 晶界特性

• CSL边界分布

• 滑移系统分析

• 相鉴定，分布及相变

• 断裂分析...

牛津仪器推出的AZtec EBSD系统集 AZtecHKL采集、分析软件以及Nordlys EBSD探测器于一体，实现全面的EBSD分析。