以下是KAS-2000F的主要技术参数：
重量：10 Kg
尺寸：420 mm (W)ｘ220 mm (D)ｘ230 mm (H)（长，宽，高）
靶材尺寸：50mm
样品室内径：100mm
靶材类型：Au/Pt（标配Au）
操作真空：0.1 Torr（托）
zei大加速电压：3KV
离子电流: 0 ~ 9 mA
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