ITEM | SU3800 | SU3900 | |
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二级电子分解能 | 3.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式) | ||
15.0nm(加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式) | |||
背散射电子分解能 | 4.0nm(加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式) | ||
倍率 | ×5~×300,000(照片倍率*1) | ||
×7~×800,000(实际显示倍率*2) | |||
加速电压 | 0.3kV~30kV | ||
低真空度设定 | 6~650 Pa | ||
图像位移 | ±50µm(WD=10mm) | ||
最大样品尺寸 | 200mm直径 | 300mm直径 | |
样品台 | X | 0~100mm | 0~150mm |
Y | 0~50mm | 0~150mm | |
Z | 5~65mm | 5~85mm | |
R | 360°连续 | ||
T | -20°~+90° | ||
最大可观察范围 | 130mm直径(R并用) | 200mm直径(R并用) | |
最大可观察高度 | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
电机驱动 | 5轴电机驱动 | ||
电子光学系统 | 电子枪 | 中心操控式钨丝发射 | |
物像镜头光圈 | 4孔可动光圈 | ||
检测系统 | 二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器 | ||
EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
图像显示 | 自动光轴调整功能 | 自动光束调整(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
自动光轴调整(实时级别对齐) | |||
自动调整光束亮度 | |||
自动图像调整功能 | 自动亮度和对比度控制(ABCC) | ||
自动对焦控制(AFC) | |||
自动标记和焦点功能(ASF) | |||
自动灯丝饱和度调整(AFS) | |||
自动光束对准(ABA) | |||
自动启动(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
操作辅助功能 | 光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入(点对点测量、角度测量、文本)、预设放大、样品台位置导航功能(SEM MAP)、光束标记功能 | ||
配件 | ■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器(UVD)、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成 | ||
配件(外部装置) | 能量散射X射线分析仪(EDS)、波长色散X射线分析仪(WDS)、 各种外部功能台(加热台、冷却台、牵引台) |
* 1.指正放大倍率为127 mm x 95 mm(4x5照片尺寸)的显示尺寸。
* 2.指定放大倍率为509.8 mm x 286.7 mm(1,920 x 1,080像素)的显示尺寸。
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