| 名称 | Regulus8100 | Regulus8240/8230/8220 |
|---|---|---|
| 二次电子分辨率 | 0.7 nm（加速电压 15 kV） 0.8 nm（着陆电压 1 kV）*2 | 0.6 nm（加速电压 15 kV） 0.7 nm（着陆电压 1 kV）*2 |
| 加速电压 | 0.5~30 kV | 0.5~30 kV |
| 着陆电压*2 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV |
| 倍率 | 20~1,000,000倍*3 | 20~2,000,000倍*3 |
| 马达台控制 | 3轴自动*4 | 5轴自动 |
*1 仅限 Regulus8240/8230/8220
*2 减速模式观察
*3 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率
*4 5轴马达台为选配项
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