Q150T Plus涡轮分子泵镀膜仪，高分辨率成像

部分可选项：

 可预设倾斜角的旋转台
 可变角度旋转行星台
 可用于4”晶圆的平面旋转台
 显微镜载玻片样品台
 用于高样品的加高腔室
 膜厚监测附件（FTM），用于可重复膜厚控制：到达所设定膜厚，溅射镀膜即停。到达所设定膜厚，溅射镀膜即停；或到达所设定碳膜厚度，碳棒/碳丝热蒸发即停。
 快速、易更换的辉光放电插入头可用于样品表面改性（如疏水改变为亲水）
 适用于6.15mm碳棒蒸发头。但推荐使用更易控制及更经济的3.05mm直径标配碳棒头。 
 碳丝蒸发头
 金属蒸发和光阑清洁头：用于源自钨丝篮或舟的金属热蒸发。可配备一个标准钼舟用于清洁SEM或TEM光阑。金属蒸发头被安装用于向下蒸发，但向上蒸发也能通过配装两个延长电极而获得。

仪器箱

585 mm 宽 x 521 mm 深 x 410 mm 高

（涂布头打开时的总高度：650 mm）

重量

32 kg（包装：42 kg）

包装尺寸

725 mm 宽 x 660 mm 深 x 680 mm 高

工作腔

硼硅酸盐玻璃 内径 150 mm x 高 133 mm

显示

115.5mm 宽 x 86.4mm 高（活动区域），640 RGB x 480（显示格式），电容式触摸彩色显示屏

用户界面

带有触摸屏按钮的全图形界面，包括最近 1000 次涂层的日志和维护到期提醒等功能。

溅射靶材

圆盘式直径 57 mm，标配 0.3 mm 厚的铬 （Cr）。仅限 T S 和 T ES 版本

试样阶段

直径 50 mm 的旋转平台，转速为 8-20 rpm。可根据要求提供其他阶段。

真空

旋转泵：5 m3/hr 两级旋转泵，带油雾过滤器。液压成型波纹管不锈钢背衬线。

涡轮泵：内部安装，67 L/sec N₂，风冷式

真空测量：标配皮拉尼真空计。可作为选件提供宽范围的量规。

极限真空度：5 x ^10-5 mbar*

溅射真空范围：5 x 10-3 和 1 x ^10-1 mbar 之间

*在用干燥氮气预泵送和排气后，清洁仪器中泵送系统的典型极限真空度

过程

溅射：溅射电流 1-150 mA 至预定厚度（可选 FTM）或通过内置定时器。最长溅射时间为 60 分钟（无破碎真空，并具有自动内置冷却周期）

蒸发：使用棒/绳进行碳蒸发。金属从灯丝或船上的热蒸发。为了清洁TEM孔，可以安装一个标准的钼船（提供）

可视状态指示灯

大型多色状态指示灯可直观地指示设备状态，使用户能够轻松识别远处的进度状态。

LED 指示灯显示以下状态：

• 初始化

• 进程运行

•怠

• 涂层进行中

• 流程完成

• 过程在故障状态下结束

该过程完成后也会响起音频指示。