样品种类
石英/萤石;方解石/文石/锆石;透明和半透明类样品;骨头/化石;陶瓷;塑料;超薄涂层/镀层;各种矿物等。
主要性能参数
■ 超短193nm激光波长
■ 脉冲宽度<20ns
■ 足够剥蚀石英及萤石的能量密度,高达50J/cm2
■ 密闭气室
■ 激光束能量分布均匀化,剥蚀均匀
■ 标配100x100mm移动平台,可选150x150mm平台
■ 同步“动态剥蚀功能”实现精确的剥蚀深度控制
■ 独立的视频和激光光学控制单元,能够更好的查看样品剥蚀点
■ 剥蚀光斑范围1-170μm
■ 标配30个剥蚀光斑,光斑可定制
■ 标配HelEx II双体积双气路涡流样品池