精准 | ①测量精度:±1μm |
0.4~2.7μm/pixel | |
③总放大倍率:70~450X | |
④光学放大倍率:1.4~9×连续可调 | |
对象 | ①板宽:≤760mm |
②0.53×0.4~3.3mm×2.5mm | |
③线宽:20-1200um | |
仪器外形尺寸(不含电脑) | XK25 |
960*780*1280mm | |
重量 | 145Kg |
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