激光器波长

355nm

激光最大平均功率

标配10W，可选12W,15W

激光重复频率

30-120kHz

最大加工幅面

500mmx400mm（双平台）

650mmx550mm

平台最大运行速度

800mm/s

平台定位精度

±3μm

平台重复定位精度

±1μm

综合加工精度

±20μm

聚焦光斑

20±5μm

振镜扫描范围

45mmx45mm

文件格式

*.gbr   & *.dxf & *.lay

电源及功率

AC220V/2kW

AC380V/5.5kW

外形尺寸

1850mmx1640mmx1650mm

1780mmx1610mmx1650mm

重量

2400kg

3600kg

环境温度

20℃±2℃

环境湿度

≤60%RH，不结露 Non-condensing

地基振幅

≤5μm

地面耐压

1000kgf/m