技术指标:
进气口法兰 | DN200 CF DN200 ISO-K | 排气口法兰(ISO-KF) | DN40 |
抽速速率(L/s) | N2:1300 He:1000 H2:480 Ar:1250 | 压缩比 | N2:1E9 He:1E4 H2:1E3 Ar:1E9 |
极限压强(Pa) | CF:6E-7 ISO-K:6E-6 | 最大连续前级压强(Pa) | 240 |
最大前级压强(Pa) | N2:600 | 最大气载量(sccm) | N2:2500 He:1850 H2:1450 Ar:950 |
额定转速(RPM) | 24000 | 启动时间(min) | ≤9 |
冷却方式 | 水冷 | 冷却水流量(L/min) | ≥1 |
冷却水温度(℃) | ≤25 | 电源电压(VAC) | DC24/AC220 |
最大功率(W) | ≤500 | 适配电源型号 | FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II |
建议前级泵(L/s) | 15 | 重量(kg) | 29(LF) 31(CF) |
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