技术指标

进气口法兰：DN200 CF DN200 ISO-K

排气口法兰（ISO-KF）：DN40

抽速速率（L/s）：N2：1200 He：750 H2：480 Ar：1160

压缩比：N2：1E9 He：1E4 H2：1E3 Ar：1E9

极限压强（Pa）：CF：6E-7 ISO-K：6E-6

最大连续前级压强（Pa）：400

最大前级压强（Pa）：N2：500

最大气载量（sccm）：N2：2300 He：1700 H2：1350 Ar：870

额定转速（RPM）：24000

启动时间（min）：≤9

冷却方式：水冷 

冷却水流量（L/min）：≥1

冷却水温度（℃）：≤25

电源电压（V AC）：DC24/AC220

最大功率（W）：≤750

适配电源型号：FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II

建议前级泵（L/s）：15

重量（kg）：39(LF) 41(CF)

尺寸